Halbleitermaschinen und Sonderlösungen
Unser Shop bietet eine Vielfalt an Ersatzteilen für die Maschinen der Type DNS 80 / 60 B, Coater, Developer oder Scrubber an.
Neu! Der Waferpresenter
Beispiele für den Einsatz des
REA-tronic® Waferpresenter:
- Optische Inspektion
- Kassetten umsortieren
- Mikroskope und Geräte bestücken
- Keine Kratzer beim Einsortieren
- Leichtes Auswählen des Slots durch Anwahl über großes Touch Display
- Sicheres Ablegen des Wafer vor der Cassette
- Schnelle Bearbeitung durch automatische Vorwahlen
Dabei können Sie eingespeicherte Programme verwenden, um Abläufe zu wiederholen.
Die angewählten Wafer werden präzise und kratzfrei vor der Cassette auf der Stage präsentiert.
Wird ein Wafer auf die Stage des REA-tronic® Waferpresenter retourniert, wird dieser nach dem „fist out – first in Prinzip“ in den entnommenen Slot transportiert.
Telefonisch erreichen Sie uns unter:
+43 (0) 662/ 66 10 77
Refurbished DNS80B
REA-tronic® ist der Spezialist für refurbished DNS Track.
- Refurbishment der Tracks nach OEM Spezifikationen
- Variierender Aufbau der Anlagen nach Kundenwunsch
- Platzsparende Designänderungen der Tracks
- Service und Aufstellung der Maschinen durch REA-tronic®
1 Coater / 2 Developer
4 Load/Unload Ports
4 Hotplates 4 Coolplates
1 EEW Edge Exposure Unit
2 Developer / 4 Load/Unload Ports
4 Load/Unload Ports /2 Developer (2 Spray Nozzles)
1 Coater (4 Resist Nozzles; IDI Pump 300 / 450)
2 Hotplates 180°C / 2 Coolplates
Model: 80SK BW-AVPE for 6”/8” (150mm/200mm) Wafer
Technical Data:
Type: REA-tronic® RTC WL 022
Model: Arm for (150mm/200mm) Wafer
Dimension: 700 mm x 700 mm x 600 mm
Touchscreen: 370 mm x 170 mm x 360 mm
Control-PC: 180 mm x 500 mm x 400 mm.
Telefonisch erreichen Sie uns unter:
+43(0) 662/ 66 10 77
Convac Fairchild Coater
convac Fairchild Coater Broschüre
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Type: CBA 3 – 3 M 2000 Year: 09/1996
Lithographic process system with high throughput, flexible wafer flow and modular design with small footprint. Process modules with pick and place robot handling for substrates up to 150mm diameter Convac
Coater with 3 independent wafer line
2 input stations (on the right side)
1 spin unit for up to 3 resists
2 bake unit,
1 coolplate and
2 receiving stations
3 Solvent pumps and pump controller
DNS Spin Motor Repair
Wir reparieren alle Spin Motoren der Marke Yaskawa die in DNS Tracks der Type verbaut sind:
- DNS 60A Coat, Develop oder Scrubber
- DNS 80A Coat, Develop oder Scrubber
- DNS 60B Coat, Develop oder Scrubber
- DNS 80B Coat, Develop oder Scrubber
Refurbishment
REA-tronic® Refurbished Maschinenkomponenten von DNS Track´s. Nahezu alle Komponenten werden nach dem Refurbishment an den Anlagen im Prozesszustand getestet. Viele Teile sind auf Lager und werden als Austauschgeräte versandt.
Artikel aus dem Refurbishment Sortiment:
- Heat Exchanger
- Chemical Controller
- Spin Motor Controller
- IDI Pumpen 300 / 350 / 450