Seite wählen

rea-tronic_logo   Halbleitermaschinen und Sonderlösungen

re-slider1
REA-tronic® ist Ihr Anbieter in den Bereichen Waferhandling, Photolithographie und Qualitätssicherung. REA-tronic® ist auf das Refurbishment von Anlagen und Anlagenteilen des Herstellers DNS Dainippon Screen im Bereich Lithographie spezialisiert.

Unser Shop bietet eine Vielfalt an Ersatzteilen für die Maschinen der Type DNS 80 / 60 B, Coater, Developer oder Scrubber an.

 

 sl1  sl22  sl33  sl44  sl55

Neu! Der rea-tronic_logo Waferpresenter

WAFERPRESENTERINSPECTIONBELADENENTLADENSPUTTER
Die kleine Bauform als Tischgerät, die große Auswahl an Betriebsmöglichkeiten und die einfache Bedienung am Touch Display sind die Vorteile des REA-tronic® Waferpresenter.

 

 

Beispiele für den Einsatz des
REA-tronic® Waferpresenter:

  • Optische Inspektion
  • Kassetten umsortieren
  • Mikroskope und Geräte bestücken

Angewählte Wafer werden aus der Kassette entnommen und zur weiteren Inspektion vor der Kassette präsentiert. Aus dieser Position können die Wafer leicht und ohne Gefahr zu zerkratzten, entnommen werden. Nach der Inspektion wird der Wafer vom Bediener auf die Stage zurückgelegt und in denselben Slot zurückgebracht.

 

 

waferpresenter-inspektion

In vielen Bearbeitungsschritten und Prozesszwischenschritten in der Halbleiter- und Mikrosystemindustrie ist es erforderlich, Wafer in frei wählbare Slots zu sortieren. Der REA-tronic® Waferpresenter bietet die beste Lösung für diese Anwendung:

 

 

  • Keine Kratzer beim Einsortieren
  • Leichtes Auswählen des Slots durch Anwahl über großes Touch Display
  • Sicheres Ablegen des Wafer vor der Cassette
  • Schnelle Bearbeitung durch automatische Vorwahlen

waferpresenter-beladen

Durch die Scan Funktion ist der REA-tronic® Waferpresenter bestens geeignet, volle oder teilweise leere Cassetten automatisch zu entladen.

 

 

Dabei können Sie eingespeicherte Programme verwenden, um Abläufe zu wiederholen.

Die angewählten Wafer werden präzise und kratzfrei vor der Cassette auf der Stage präsentiert.

waferpresenter-entladen

Wafer werden automatisch entladen und per Hand einer Prozess- oder Reinigungsmaschine zugeführt. Anschließend wird der nächste Wafer präsentiert. Es können beliebig viele Wafer entnommen werden.

 

 

Wird ein Wafer auf die Stage des REA-tronic® Waferpresenter retourniert, wird dieser nach dem „fist out – first in Prinzip“ in den entnommenen Slot transportiert.

waferpresenter-sputter

REA-tronic® Waferpresenter Broschüre
>> Download

 

 

 

REA-tronic® Waferpresenter Factsheet
>> Download

Für weitere Detailinformationen können Sie sich die links angeführten Unterlagen herunterladen oder uns gerne kontaktieren.

 

 

 

Für eine Schriftliche Anfrage nutzen Sie bitte unseren Anfrage Button.

 

 

Telefonisch erreichen Sie uns unter:

+43 (0) 662/ 66 10 77

waferpresenter-bilderfolge-endlos

Refurbished DNS80B rea-tronic_logo

DNS80BCOATERDEVELOPEREEWCABINET
Refurbished dainippon screen tool DNS 80B Coat / Develop SK

 

REA-tronic® ist der Spezialist für refurbished DNS Track.

  • Refurbishment der Tracks nach OEM Spezifikationen
  • Variierender Aufbau der Anlagen nach Kundenwunsch
  • Platzsparende Designänderungen der Tracks
  • Service und Aufstellung der Maschinen durch REA-tronic®

Refurbished DNS SK80BW AVPE Coater / Developer.

 

1 Coater / 2 Developer
4 Load/Unload Ports
4 Hotplates 4 Coolplates
1 EEW Edge Exposure Unit

Refurbished DNS SD 80BW AVPE Spray Developer.

 

2 Developer / 4 Load/Unload Ports

Refurbished DNS SD 80 SK BW AVPE Coat / Develop

 

4  Load/Unload Ports /2 Developer (2 Spray Nozzles)
1 Coater (4 Resist Nozzles; IDI Pump 300 / 450)
2 Hotplates 180°C / 2 Coolplates
Model: 80SK BW-AVPE for 6”/8” (150mm/200mm) Wafer

Conversion: DNS High Speed Waferloader WL 022

 

Technical Data:

Type: REA-tronic® RTC WL 022
Model: Arm for (150mm/200mm) Wafer
Dimension: 700 mm x 700 mm x 600 mm
Touchscreen: 370 mm x 170 mm x 360 mm
Control-PC: 180 mm x 500 mm x 400 mm.

DNS80B Produktbroschüre
>> Download
Für weitere Detailinformationen können Sie sich die links angeführten Unterlagen herunterladen oder uns gerne kontaktieren.

 

Für eine Schriftliche Anfrage nutzen Sie bitte unseren Anfrage Button.

 

Telefonisch erreichen Sie uns unter:

+43(0) 662/ 66 10 77

DNS HDD Backuprea-tronic_logo

HDD Backup von DNS 60A & DNS 80B Anlagen

  • Backup von Bestandsanlagen
  • Ersatz der HDD durch hochwertiges Industrie Flash Modul
  • Erhöhung der Ausfallsicherheit
  • Beschleunigung der Zugriffszeiten

DNS Spin Motor Repairrea-tronic_logo

Wir reparieren alle Spin Motoren der Marke Yaskawa die in DNS Tracks der Type verbaut sind:

 

  • DNS 60A Coat, Develop oder Scrubber
  • DNS 80A Coat, Develop oder Scrubber
  • DNS 60B Coat, Develop oder Scrubber
  • DNS 80B Coat, Develop oder Scrubber

Refurbishmentrea-tronic_logo

REA-tronic® Refurbished Maschinenkomponenten von DNS Track´s. Nahezu alle Komponenten werden nach dem Refurbishment an den Anlagen im Prozesszustand getestet. Viele Teile sind auf Lager und werden als Austauschgeräte versandt.

 

Artikel aus dem Refurbishment Sortiment:

  • Heat Exchanger
  • Chemical Controller
  • Spin Motor Controller
  • IDI Pumpen 300 / 350 / 450

+43 662 661077

zum shop

Wir warten und reparieren Ihre Maschinen.


senden

"Ihre Anfrage an uns:"