Die kleine Bauform als Tischgerät, die große Auswahl an Betriebsmöglichkeiten und die einfache Bedienung am Touch Display sind die Vorteile des REA-tronic^® Waferpresenter.

 

 

Beispiele für den Einsatz des
REA-tronic^® Waferpresenter:

• Optische Inspektion
• Kassetten umsortieren
• Mikroskope und Geräte bestücken

Angewählte Wafer werden aus der Kassette entnommen und zur weiteren Inspektion vor der Kassette präsentiert. Aus dieser Position können die Wafer leicht und ohne Gefahr zu zerkratzten, entnommen werden. Nach der Inspektion wird der Wafer vom Bediener auf die Stage zurückgelegt und in denselben Slot zurückgebracht.

 

 

In vielen Bearbeitungsschritten und Prozesszwischenschritten in der Halbleiter- und Mikrosystemindustrie ist es erforderlich, Wafer in frei wählbare Slots zu sortieren. Der REA-tronic^® Waferpresenter bietet die beste Lösung für diese Anwendung:

 

 

• Keine Kratzer beim Einsortieren
• Leichtes Auswählen des Slots durch Anwahl über großes Touch Display
• Sicheres Ablegen des Wafer vor der Cassette
• Schnelle Bearbeitung durch automatische Vorwahlen

Durch die Scan Funktion ist der REA-tronic® Waferpresenter bestens geeignet, volle oder teilweise leere Cassetten automatisch zu entladen.

 

 

Dabei können Sie eingespeicherte Programme verwenden, um Abläufe zu wiederholen.

Die angewählten Wafer werden präzise und kratzfrei vor der Cassette auf der Stage präsentiert.

Wafer werden automatisch entladen und per Hand einer Prozess- oder Reinigungsmaschine zugeführt. Anschließend wird der nächste Wafer präsentiert. Es können beliebig viele Wafer entnommen werden.

 

 

Wird ein Wafer auf die Stage des REA-tronic^® Waferpresenter retourniert, wird dieser nach dem „fist out – first in Prinzip“ in den entnommenen Slot transportiert.

Refurbished dainippon screen tool DNS 80B Coat / Develop SK

 

REA-tronic^® ist der Spezialist für refurbished DNS Track.

• Refurbishment der Tracks nach OEM Spezifikationen
• Variierender Aufbau der Anlagen nach Kundenwunsch
• Platzsparende Designänderungen der Tracks
• Service und Aufstellung der Maschinen durch REA-tronic^®

Refurbished DNS SK80BW AVPE Coater / Developer.

 

1 Coater / 2 Developer
4 Load/Unload Ports
4 Hotplates 4 Coolplates
1 EEW Edge Exposure Unit

Refurbished DNS SD 80BW AVPE Spray Developer.

 

2 Developer / 4 Load/Unload Ports

Refurbished DNS SD 80 SK BW AVPE Coat / Develop

 

4  Load/Unload Ports /2 Developer (2 Spray Nozzles)
1 Coater (4 Resist Nozzles; IDI Pump 300 / 450)
2 Hotplates 180°C / 2 Coolplates
Model: 80SK BW-AVPE for 6”/8” (150mm/200mm) Wafer

Conversion: DNS High Speed Waferloader WL 022

 

Technical Data:

Type: REA-tronic^® RTC WL 022
Model: Arm for (150mm/200mm) Wafer
Dimension: 700 mm x 700 mm x 600 mm
Touchscreen: 370 mm x 170 mm x 360 mm
Control-PC: 180 mm x 500 mm x 400 mm.